在科學技術的不斷發展的時代，氦質及其應用技術也在不斷的發展與完善。這主要由兩方面的因素所決定：一方面，檢漏應用技術不斷的對檢漏儀提出新的要求，迫使儀器自身的更新；另一方面，檢漏技術也在隨時隨地補充現有檢漏儀在應用過程中存在的某些不足，因此二者的關系是相互補充、相互促進的。
1、氦質譜檢漏儀的進展
經過近半個世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現在如下幾個方面：
（1）便攜式：最近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。
（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。
（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。
（5）檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。
例如：瑞士、日本采用改變分子泵轉速來達到此目的，且提高檢漏靈敏度。
另外，逆擴散檢漏方式，實現了高壓強下檢漏，也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
目前，國內氦質譜檢漏儀的主要生產廠家中科院北京科儀中心、成都儀器廠，產品主要在國內銷售，面對外國八大公司在中國市場上的激烈競爭，他們不斷調整產品結構，適應國情及市場需要，也在不斷的改造更新儀器，為振興民族工業作出很大貢獻。
2、氦質譜檢漏儀的應用拓展
氦質譜檢漏儀的應用已從科學院、大專院校、實驗室及少數科研機構走向工礦企業，甚至鄉鎮企業、個體企業，可以說應用領域極其寬廣。
（1）航空航天高科技工業
1）例如火箭發動機及姿態發動機，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結合，使檢漏靈敏度大大提高，從而保證了發動機質量。火箭箭體的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結合。由于檢漏技術的應用，提高了檢漏靈敏度，彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。
2）KM6空間環模裝置設備龐大，主真空室直徑12m、高22m，另外有輔助真空室和載人艙等。容積3500m3，分系統多，結構復雜，各種接口焊縫相加有幾千米長，采用氦質譜檢漏儀負壓檢漏，每條焊縫由檢漏盒密封，配以鋪助抽氣系統將盒內抽低真空后，充入一定壓力氦氣，關閉預抽閥，開啟檢漏閥。由于盒內氦濃度較高，相對檢漏儀又有一定壓力，因此有效提高了檢漏靈敏度。
3）航天工業中，衛星、各類閥門、電子元器件，傳感器等等都在廣泛應用氦質譜檢漏儀及其檢漏技術。
（2）電力行業
SF6高壓開關和氧化鋅避雷器是發電廠及野外輸變電的重要組成部分，往往因泄漏造成大面積或局部停電，影響工業生產，又妨礙人們的正常生活。因此帶來的經濟損失有時是難以估量的。
1）高壓開關在連箱是鋁鑄件，往往容易有砂眼，且漏孔結構復雜，不易清洗。一般采用檢漏盒或氦罩法，即把被檢件抽真空，然后向罩內充入氦氣，等待一定時間，確定總漏率的大小。因氦氣的用量小，檢測靈敏度就高。
2）氧化鋅避雷器，是根據電壓高低要求，采用不同截面積、不同厚度和不同數量的氧化鋅片，裝在瓷套中，充入氮氣后密封。其工作原理是在高壓輸出中如遇雷擊，氧化鋅片電阻變小，大電流對地短路，輸電線路被保護。如果泄漏造成內外沒有壓差，外部潮濕氣體有可能進入，而破壞氧化鋅片特性，造成爆炸。
3）電力行業中，電廠的檢漏、高壓變壓器、高壓電容器、高壓開關管及其它元器件也都相應的采用氦質譜檢譜檢漏儀，用不同方法進行檢漏。
（3）電子行業
微波發射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。
（4）真空行業，儀器、儀表行業
管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、高能加速器、醫用加速器、輻照加速器、鍍膜機、薄膜真空計。
（5）核工業
鈾分離裝置、存儲裝置、核發電裝置。
（6）制冷行業
冰箱、空調、溴化鋰制冷機組、汽車用空調、蒸發器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。
（7）不銹鋼保溫器皿
真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。
（8）其它
據日本有關文章介紹，日本汽車制造業，已有30多種零部件在使用氦質譜檢漏儀檢漏，解決密封問題。其中包括液壓系統、制動系統、轉向系統、避震系統、甚至汽車輪轂。
有待于開拓的檢漏領域還很多，但由于思想觀念的束縛以及經費等諸多原因，在很多領域還一直沿用古老且較為落后的手段處理泄漏問題。產品合格率和生產效率低。從某種意義上講，這種工作方式制約了生產力的發展。因此，對于真空專業技術人員，特別是從事真空設備的研制和生產氦質譜檢漏儀的專業廠家，應在氦質譜檢漏儀的應用推廣上進一步下功夫，為推動我國真空技術的發展而努力。
